专利名称 | 一种低阈值小发散角980nm半导体激光器外延结构 | ||
申请号 | CN201711010385.X | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN107732656A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 海南师范大学 | 发明人 | 李林; 曾丽娜; 李再金; 赵志斌; 李特; 曲轶; 彭鸿雁; 张铁民 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | 委托人转化 |
摘要 |
本发明属于半导体光电子技术领域,涉及一种低阈值小发散角半导体激光器外延结构,包括顺次连接的衬底(1)、缓冲层(2)、n型下限制层(3)、n型下模式扩展层(4)、n型下低折射率层(5)、渐变下波导层(6)、下势垒层(7)、有源层(8)、上势垒层(9)、渐变上波导层(10)、p型上低折射率层(11)、p型上模式扩展层(12)、p型上限制层(13)和欧姆接触层(14);通过优化设计低折射率层(5)和(11),以及模式扩展层(4)和(12)。通过上述方式,本发明设计了一种新型的外延结构,引入了低折射率层和模式扩展层来降低激光器垂直发散角,能够获得激光器小发散角,同时具有较小的阈值电流密度。 |
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