专利名称 | 一种包含“线中点”的复合型纳米线核壳结构 | ||
申请号 | CN201811078541.0 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN108987498A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 海南师范大学 | 发明人 | 曾丽娜; 李林; 李再金; 赵志斌; 曲轶; 彭鸿雁 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | 委托人转化 |
摘要 |
本发明属于半导体光电子技术学领域,涉及一种包含“线中点”的复合型纳米线核壳结构,在衬底层上由下至上依次包括:一GaAs(111)B衬底材料,该衬底用于在其上外延生长纳米线各段材料;一掩膜层,用于形成图型衬底,为纳米线生长提供孔隙并覆盖住纳米线之间的间隙,为SiO2材料;一下缓冲段纳米线,为GaAs材料;一纳米线包层,与GaAs段形成径向异质结,为InxGa1‑xAs材料(0.01≤x≤1);一下应变补偿段,在GaAs下缓冲段与InxGa1‑xAs包层之上,材料为GaAsyP1‑y(0.01≤y≤1);一下台阶段,材料为GaAs;一“量子点”段,材料为InxGa1‑xAs(0.01≤x≤1);一上台阶段,材料为GaAs;一上应变补偿段,材料为GaAsyP1‑y(0.01≤y≤1);一上覆盖段,材料为GaAs;一纳米线包层,材料为GaAs。 |
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