本发明公开一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置，包括808.5nm半导体激光；前后面镀808.5nm增透膜的聚焦镜；前面镀914nm高反、808.5、1064和1342 nm增透膜，后面镀914nm高反、1064和1342 nm增透膜的Nd : YVO4；前面镀914、1064和1342 nm增透膜，后面镀457nm高反、914、1064和1342 nm增透膜的平面镜；前后面镀914nm和457nm增透膜的LBO；前面镀914nm高反、457、1064和1342 nm增透膜，后面镀457、1064和1342 nm增透膜、228nm高反膜的平面镜；前后面镀457和228 nm增透膜的BBO；凹面镀457nm高反、228nm增透膜，平面镀228nm增透膜凹平面镜；中心波长为228±5nm滤光片。该装置实现了228nm深紫外全固态激光输出。