本实用新型公开了一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置，该装置依次包括808.5nm半导体激光二极管；前后表面镀有808.5nm处透过率大于99%光学膜的聚焦镜；前表面镀有914nm处高反射率大于99%、808.5nm、1064nm和1342nm处透过率大于95%的光学膜，后表面镀有914nm处透过率大于99%、1064nm和1342nm处透过率大于95%的光学膜的Nd : YVO4激光晶体；前表面镀有914nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%的光学膜，后表面镀有457nm处高反射率大于99%、914nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%的光学膜的平面镜M1；前后表面镀有914nm和457nm处透过率大于99%光学膜的LBO倍频晶体；前表面镀有914nm处高反射率大于99%、457nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%的光学膜，后表面镀有457nm、1064nm和1342nm处透过率大于99%、228nm处高反射率大于98%光学膜的平面镜M2；前后表面镀有457nm和228nm处透过率大于99%光学膜的BBO倍频晶体；凹面表面镀有457nm处高反射率大于99%、228nm处透过率大于95%的光学膜，平面表面镀有228nm处透过率大于99%的凹平面镜M3；中心波长228nm±5nm、半高全宽35nm±10nm和峰值透过率大于30%、截止带为350nm到1150nm的滤光片。该装置实现了228nm深紫外全固态激光的输出。