本发明公开了一种利用晶硅切割废砂浆制备碳化硅纳米晶须的方法；该方法将晶硅切割废砂浆和有机溶剂混合搅拌，过滤得到固体废料；将所述固体废料烘干，研磨得到原料粉体；将植物纤维通过超声法清洗干净并烘干；将原料粉体与处理后所得植物纤维放在放电等离子系统中，控制温度为1100～1600℃，通过惰性气体控制压强为100～800Pa，反应10～40min，制得碳化硅纳米晶须并获得碳化硅磨料。本发明简化了晶硅切割废砂浆传统回收方法中对硅与碳化硅分别提取的复杂工艺过程，且使得晶硅切割废砂浆能够直接制备碳化硅纳米晶须；本发明在制得碳化硅纳米晶须的同时还获得碳化硅磨料。