本发明公开了一种可用于痕量检测的表面增强拉曼散射芯片的制备方法及所得产品和应用，该方法通过含氨基的有机物和贵金属前驱体通过液相反应形成均匀透明溶胶，然后转移至带有阵列式凹槽的基片中进行原位老化反应和热处理反应，得到凹槽底部含有均匀贵金属薄膜的表面增强拉曼检测用芯片。本发明制备原料易得，工艺简单，所得芯片表面增强拉曼性能优异，规模化生产应用优势明显，适用于微痕量物质分子简便、快速和高灵敏检测。