本发明公开一种耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体及其制备方法。所述耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体的制备方法，包括以下步骤：(1)将亚微米级或微米级碳化硅粉、亚微米级或微米级氮化硅粉、碳前驱体充分混合，得到混合粉体；(2)将步骤(1)中的混合粉体进行成型，得到生坯；(3)将步骤(2)中的生坯烧结得到耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体。上述耐高温耐腐蚀反应烧结碳化硅膜支撑体的一个特征在于其具有优异的高温强度与化学稳定性，显著优于氧化物结合碳化硅膜支撑体；另一个特征在于其烧结过程中无尺寸变化，可大幅度提升产品的成品率。