本发明公开了一种合成对甲苯磺酰氧甲基膦酸二乙酯的方法，37%的甲醛水溶液和催化剂混合，滴加亚磷酸二乙酯，滴加完毕，保温反应2小时，得反应液，反应液中投入溶剂，对甲苯磺酰氯，低温下滴加缚酸剂，滴加完毕保温2小时左右，萃取，水洗，蒸馏，剩余物质即为高纯对甲苯磺酰氧甲基膦酸二乙酯。本发明方法解决现有工艺中纯度低，收率不高，工序复杂，后处理麻烦，环保压力大，不适合工业化等缺点。