本发明公开了一种超疏水介质材料的制备方法及其制备的介质材料，该方法包含如下步骤：步骤1，采用四氟化碳反应气源处理电介质材料：功率100W~50W，气体流量30sccm~10sccm；步骤2，采用三氟甲烷反应气源处理步骤1处理后的电介质材料：功率为50‑75W，气体流量为10‑30sccm。本发明实现了生物可兼容材料的表面改性，使得其具有超疏水性，且方法简单，与目前集成电路工艺兼容，对使用该材料的介质电润湿数字微流控芯片在生物医药中的应用具有重大意义。