本发明公开了一种超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物，所述超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物的前体中至少包括嵌段A和嵌段B，所述嵌段A的单体选自以下化合物：烃氧基取代的苯乙烯类化合物、乙烯基酚酯类化合物、芳基中含有酯基的甲基丙烯酸酚酯或丙烯酸酚酯类化合物；所述嵌段B的单体选自以下化合物：含氟甲基丙烯酸酯类化合物、含氟苯乙烯类化合物，其中，所述嵌段A或嵌段B的单体中的取代为邻、间或对单取代或多取代。与现有技术相比，该超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物可在低温下快速组装，并具有潜在的自修复性能，以降低缺陷率，从而提高其抗刻蚀的能力。