本发明公开一种低温等离子体甲醛灭菌器及甲醛去除方法，涉及灭菌技术技术领域。包括以下步骤S1：根据设定的真空度值进行负压抽取；S2：在脉动压力下进行灭菌；S3：反复进行抽真空处理；S4：通入空气平衡压力并开门取物。取代了传统的甲醛气体熏蒸法和高浓度的低温蒸汽甲醛灭菌柜，灭菌后采用等离子体彻底清除残留的甲醛气体，整体结构简单洁净，灭菌彻底，无死角。