本实用新型的一种挥发性有机废气处理装置，包括预处理单元、处理单元和动力单元，其中，预处理单元设置有静态塑料丝网进行初步的除尘和脱水；处理单元由臭氧产生区和臭氧和过氧化氢协同氧化区组成。本实用新型装置能够高效的处理挥发性有机废气，处理速度快，副产物少，设备成本低，适用于工业应用。