专利名称 | 一种场效应晶体管生物传感器及其制备方法 | ||
申请号 | CN201811367082.8 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN109490392A | 公开(公告)日 | 2018-11-16 |
申请(专利权)人 | 发明人 | 李玉桃; 张国军; 唐丽娜; 靳鑫; 雷用敏 | |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本发明涉及生物传感器技术领域,具体涉及一种场效应晶体管生物传感器及其制备方法。本发明提供的场效应晶体管生物传感器包括形状为针型的源极、设置在所述源极表面的第一绝缘层、设置在所述第一绝缘层表面的漏极和设置在所述漏极表面的第二绝缘层;其中,所述场效应晶体管生物传感器的尖端部分为包括源极、第一绝缘层、漏极和第二绝缘层的截面,所述尖端部分的源极和漏极通过沟道连接层导通。本发明提供的场效应晶体管生物传感器的形状为针型,可直接插入活体进行生物信号分子的实时监测。本发明提供了所述场效应晶体管生物传感器的制备方法,操作简单,可以批量制备。 |
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