专利名称 | 一种网络状纳米电阻及其制备方法 | ||
申请号 | CN201811312472.5 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN109521058A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 广州大学 | 发明人 | 张成云; 程朗; 李炜键; 刘志宇 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本发明公开了一种网络状纳米电阻及其制备方法。本发明利用真空热蒸发镀膜法,采用多孔无机滤膜作为衬底材料,在衬底材料表面镀上大面积规则分布的金属钯纳米网络状结构,通过精确控制金属钯材料的用量、镀膜时间,方便快捷地在衬底材料表面制备出大面积规则分布的纳米网络状结构,且纳米网络状结构的厚度可控,且工艺简单,无需耗费大量材料。本发明制备的网络状纳米电阻可用于传感器器件、太阳能电池、生物医药工程等领域。 |
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