本发明提出了一种基于柔性绝缘材料隔离的传感器面阵及其制备方法，具体通过在晶圆层级制备完成传感器阵列之后，通过刻蚀隔离所述传感器阵列的深沟槽，并在深沟槽中埋置柔性绝缘材料，切割后的传感器阵列，由于柔性绝缘材料作为间隔具有挠性，可以弯曲，从而可以制备出曲面触诊探头或者球面触诊探头。