本发明公开了一种用于二氧化氮气体灭菌的气源发生器，包括：二氧化氮气瓶；与所述二氧化氮气瓶通过输气管道连接的计量预室；和分别为所述二氧化氮气瓶和所述计量预室加热的加热器，并控制所述二氧化氮气瓶和所述计量预室的加热温度为30‑60℃；还包括控制所述计量预室压力的薄膜压力传感器、控制所述输气管路通断的电磁阀、安全手套箱、降解反应装置以及为所述安全手套箱建立微负压的真空系统。本发明用于二氧化氮气体灭菌的气源发生器计量准确、安全可靠、使用后输气管道内没有残留，且可适用于不同体积容器的灭菌，可有效解决了现有技术中二氧化氮气体浓度无法精确控制的缺陷。