本发明公开了一种柔性水/氧阻隔薄膜制备方法，可用于量子点发光二极管、柔性光伏、电子纸及高端食品、生物医药等领域的封装或包装。本发明公开的技术是采用有机/无机杂化方法，对无机纳米颗粒进行有机基团修饰改性后分数在有机溶剂中，通过超声波雾化喷涂制备高水/氧阻隔层，再经烘干及盖膜复合等得到柔性水/氧阻隔薄膜。利用该技术制备的薄膜的水/氧阻隔率达到了10‑1‑10‑3量级，而且能够方便地进行连续式大面积辊涂操作，适宜于工业化生产。