专利名称 | 一种沉积装置 | ||
申请号 | CN201910174802.7 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN109881160A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 北京师范大学 | 发明人 | 廖斌; 欧阳晓平; 罗军 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本发明公开了一种低熔点以及活泼金属的膜层沉积装置,包括:真空系统、阴极弧头、强脉冲磁场、永磁体阳极筒、磁过滤管及聚焦线包。通过实施本发明,到达镀膜工件表面的离子方向性好,同时在改进的冷却阴极弧头基础之上能够沉积低熔点的金属,如Zn,Mg,Li等实现电弧镀膜;在真空的保护下也可实现活泼金属,如Na等的表面沉积,弥补了该类低熔点和活泼金属膜层沉积的技术空白。本发明磁过滤装置在核天体制靶,医药等方面有着广泛的应用前景。 |
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