一种微流体致动器，包含一基板、一腔体层、一振动层、一下电极层、一上电极层、一孔板层及一流道层。基板借助于蚀刻制程形成一出流孔洞、多个第一进流孔洞以及一第二进流孔洞。腔体层形成于基板上，并借助于蚀刻制程形成一储流腔室。振动层形成于腔体层上。下电极层形成于振动层上。压电致动层形成于下电极层上。上电极层形成于压电致动层上。孔板层借助于蚀刻制程形成一出流口以及一进流口。流道层形成于孔板层之上，借助于光刻制程形成一出流通道及一进流通道，并接合于基板。提供驱动电源至上电极层及下电极层，以驱动并控制振动层产生上下位移，以完成流体传输。