一种微型泵，包括依序堆叠的设置的进气板、共振片、压电致动器、绝缘片及导电片。进气板具有进气孔、汇流排孔及汇流腔室。共振片具有中空孔。压电致动器与共振片之间定义腔室空间，压电致动器包含悬浮板、外框、连接部及压电元件，连接部连接于悬浮板及外框之间，并定义间隙以供气体流通。导电片具有多个接触导电端，用以电连接压电元件。当压电致动器受驱动时，气体由进气孔导入，流经汇流腔室、中空孔导入腔室空间内，再经由间隙排出，以实现气体的传输。