本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内，由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开，其中，所述低温板的板面被设置为朝向所述腔室内的脱气对象，所述低温冷阱具备被设置于所述板面的前方的孔板。