一种微流体致动器模块，包含：一第一基板，透过蚀刻制程形成多个流体出口以及多个喷口；一第一光阻层，透过显影制程形成一连通流道；一阀层，透过蚀刻制程形成多个出口阀以及多个入口阀；一第二基板，透过蚀刻制程定义多个振动区；一第二光阻层，透过滚压制程形成于该第二基板上，透过显影制程与第二基板共同形成多个振动腔室；一压电层，透过切割制程定义多个致动区；以及一电极层，具有多个上电极区以及多个下电极区。提供驱动电源驱动振动区产生往复式位移，使流体自连通流道吸入，再由喷口排出以完成流体传输。