专利名称 | 覆铜层叠板 | ||
申请号 | CN201910640843.0 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN110740580A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 住友金属矿山株式会社 | 发明人 | 渡边智治; 小川茂树; 下地匠; 西山芳英 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本发明提供一种能够抑制化学研磨后的针孔的产生的覆铜层叠板。该覆铜层叠板(1)包括:基膜(11)、形成在基膜(11)的表面的金属层(12)、以及形成在金属层(12)的表面且作为杂质含有氯的镀铜被膜(20)。镀铜被膜(20)是由氯浓度高的高氯浓度层(21)和氯浓度低的低氯浓度层(22)交替地层叠而成。高氯浓度层(21)的氯浓度优选为1×1019原子/cm3以上。低氯浓度层(22)的氯浓度优选小于1×1019原子/cm3。 |
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