专利名称 | 覆铜层叠板 | ||
申请号 | CN201910640844.5 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN110740568A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 住友金属矿山株式会社 | 发明人 | 渡边智治; 小川茂树; 下地匠; 西山芳英 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本发明提供一种能够使化学研磨后的镀铜被膜的表面光滑的覆铜层叠板。该覆铜层叠板(1)包括:基膜(11)、形成在基膜(11)的表面的金属层(12)、以及形成在金属层(12)表面且作为杂质含有氯的镀铜被膜(20)。镀铜被膜(20)的结晶粒的平均粒径为300nm以下。优选镀铜被膜(20)是氯浓度高的高氯浓度层(21)和氯浓度低的低氯浓度层(22)交替地层叠的结构。 |
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