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专利概况
专利名称 一种双通道对称结构的微流量校准装置及方法
申请号 CN201710852210.7 申请日
公开(公告)号 CN107830914B 公开(公告)日
申请(专利权)人 兰州空间技术物理研究所 发明人 赵澜; 成永军; 冯焱; 陈联; 孙雯君; 丁栋; 张瑞芳; 管保国; 孙冬花
专利来源 国家知识产权局 转化方式
摘要

本发明公开了一种双通道对称结构的微流量校准装置和方法,该装置由供气系统、截止阀、针阀、压力计、监测压力计、抽气系统、流量校准室、流量比较室、温度采集系统、体积补偿系统、微流量测量仪器组成,通过管路连接构建了左右两个对称布置的通道,对称通道的形状对称,几何尺寸相同。结合体积补偿系统,通过分阶段测量,将出口压力、气体类型与温度对测量的影响降到最低,实现不同出口压力下、不同气体、不同温度下的微流量测量仪器的精确校准。

参与列表

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