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专利概况
专利名称 一种反极性AlGaInP四元LED芯片的制备方法
申请号 CN201810687267.0 申请日
公开(公告)号 CN110660886A 公开(公告)日
申请(专利权)人 山东浪潮华光光电子股份有限公司 发明人 彭璐; 张兆梅; 厉夫吉; 王成新
专利来源 国家知识产权局 转化方式
摘要

本发明涉及一种反极性AlGaInP四元LED芯片的制备方法,包括步骤如下:(1)在衬底上依次生长重掺N型层、量子阱层、P型层;(2)粗化P型层的表面;(3)在P型层的表面制备透明导电薄膜或复合薄膜;(4)在透明导电薄膜或复合薄膜上制备玻璃层;(5)去除衬底,(6)刻蚀重掺N型层、量子阱层、P型层,露出对应P电极的透明导电薄膜或复合薄膜;(7)在露出的透明导电薄膜或复合薄膜上制备P电极,在重掺N型层上制备N电极;(8)对玻璃层进行研磨;(9)切割,即得。本发明利用低温玻璃粉,形成出光层,该层既作为基底支撑,又作为光出射层,此工艺方式不需要高压键合,不需要永久基板键合。

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