专利名称 | 一种反极性AlGaInP四元LED芯片的制备方法 | ||
申请号 | CN201810687267.0 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN110660886A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | 发明人 | 彭璐; 张兆梅; 厉夫吉; 王成新 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本发明涉及一种反极性AlGaInP四元LED芯片的制备方法,包括步骤如下:(1)在衬底上依次生长重掺N型层、量子阱层、P型层;(2)粗化P型层的表面;(3)在P型层的表面制备透明导电薄膜或复合薄膜;(4)在透明导电薄膜或复合薄膜上制备玻璃层;(5)去除衬底,(6)刻蚀重掺N型层、量子阱层、P型层,露出对应P电极的透明导电薄膜或复合薄膜;(7)在露出的透明导电薄膜或复合薄膜上制备P电极,在重掺N型层上制备N电极;(8)对玻璃层进行研磨;(9)切割,即得。本发明利用低温玻璃粉,形成出光层,该层既作为基底支撑,又作为光出射层,此工艺方式不需要高压键合,不需要永久基板键合。 |
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