专利名称 | 可光刻图案化的石墨烯/天然蛋白质组合物、其制备及图案化方法 | ||
申请号 | CN201910968018.3 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN110673440A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明人 | 段宣明; 金峰; 郑美玲; 董贤子 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本发明公开了一种可光刻图案化的组合物,所述组合物中包含石墨烯、天然蛋白质和溶剂。该组合物对紫外、可见及近红外波段的光具备光敏感性,将该组合物用于光刻图案化中时,无需引入光引发剂即可完成图案化,且得到的图案分辨率高。本发明还公开了该组合物的制备方法及利用该组合物光刻图案化的方法。 |
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