本发明涉及一种用臭氧氧化处理乙基氯化物生产废水的方法，1)将生产废水加入氧化釜中，加入碱调节PH值6～11；2)加入0.5～1%活性炭或活性硅藻土，0.2～0.5%消泡剂；3)打开设备废气处理系统，维持氧化釜内微负压；4)开启臭氧发生器，从氧化釜底部通入臭氧，进行氧化反应；5)控制反应温度15～45℃；定期检测PH值，并调节PH6～11之间；6)当PH值稳定后，停止通臭氧，加入Ca(OH)2，搅拌后过滤；7)滤液经三效蒸发，滤渣委托有资质单位处理；8)蒸发后副产氯化钠做副产外售，蒸馏水回用至车间水解工序。优点：一是乙基氯化物废水使用臭氧氧化处理，出水指标满足回用至车间水解工序或进生化处理要求；出水指标优于芬顿氧化、次氯酸钠法氧化法处理废水。