一种基于飞秒激光诱导无定形GemSbnTek薄膜制备晶态纳米结构的方法，属于飞秒激光应用技术领域。本发明通过在一定能量范围内对单个入射飞秒激光脉冲聚焦光斑大小进行控制，实现了GemSbnTek晶态纳米颗粒加工及大小的控制，当聚焦光斑较大时，可得到较大直径纳米颗粒，缩小聚焦光斑大小，可减小纳米颗粒的直径。综合激光频率及平移台移动速度的控制可进一步实现高一致性、均匀晶态纳米颗粒的大面积高效制备。对比现有纳米结构加工方法，本发明有效提高了纳米结构的加工精度及加工效率，实现了单纳米结构及复合纳米结构的可控制备，同时实现了超快相变材料GemSbnTek纳米结构晶体性质的变化，在信息存储及超材料、纳米天线及光控制等方面具有至关重要的应用价值。