本实用新型涉及一种洁净室回风过滤装置，包括箱体、设置在箱体上的导风窗和出风窗，箱体内依次设置有风机腔、均流板和过滤腔, 风机腔中设置有叶轮、驱动叶轮旋转的电机和加湿装置，加湿装置设置在风机腔的内壁上, 过滤腔中设置有初效过滤网、中效过滤网和高效过滤网, 驱动电机驱动叶轮旋转将空气通过导风窗吸入到箱体内，加湿装置产生的雾化的水珠将附着在空气夹杂的杂质上，提高了杂质的吸附性，通过均流板变的均匀的空气依次通过过滤腔中的初效过滤网、中效过滤网和高效过滤网，在此过程中，附有雾化水珠的杂质更容易吸附在初效过滤网、中效过滤网和高效过滤网上，空气通过出风窗再次回到洁净室，这样提高了该洁净室回风过滤装置的过滤性能。