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专利概况
专利名称 流体传感器及质量流量控制器
申请号 CN201810785756.X 申请日
公开(公告)号 CN110727294A 公开(公告)日
申请(专利权)人 北京七星华创流量计有限公司 发明人 苏乾益; 宋志辉; 陈正堂
专利来源 国家知识产权局 转化方式
摘要

本发明提供一种流体传感器及质量流量控制器,该流体传感器包括至少两根测量管,至少两根测量管的管径具有比例关系。本发明提供的流体传感器,其可以保证在整个测量范围内的测量精度,还可以提高装置的可靠性。

参与列表

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