专利名称 | 压电致动器和压电致动板 | ||
申请号 | CN201710333246.4 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN108880320B | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 研能科技股份有限公司 | 发明人 | 廖鸿信; 陈世昌; 廖家淯; 韩永隆; 李伟铭 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
一种压电致动器和压电致动板,其中的压电致动器适用于一微型流体传输装置,包含:悬浮板、外框、至少一支架,悬浮板具有第一厚度,外框环绕于悬浮板周边且具有第三厚度,至少一支架连接于悬浮板与外框之间并具有第四厚度,其中,第三厚度大于第一厚度,第一厚度大于第四厚度,透过悬浮板、外框及支架蚀刻制成构成不同阶梯结构,以减少其支架的厚度,增加支架的弹性,使悬浮板垂直的位移量增加,进而提升微型流体传输装置的效率。 |
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