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专利概况
专利名称 压电致动器和压电致动板
申请号 CN201710333246.4 申请日
公开(公告)号 CN108880320B 公开(公告)日
申请(专利权)人 研能科技股份有限公司 发明人 廖鸿信; 陈世昌; 廖家淯; 韩永隆; 李伟铭
专利来源 国家知识产权局 转化方式
摘要

一种压电致动器和压电致动板,其中的压电致动器适用于一微型流体传输装置,包含:悬浮板、外框、至少一支架,悬浮板具有第一厚度,外框环绕于悬浮板周边且具有第三厚度,至少一支架连接于悬浮板与外框之间并具有第四厚度,其中,第三厚度大于第一厚度,第一厚度大于第四厚度,透过悬浮板、外框及支架蚀刻制成构成不同阶梯结构,以减少其支架的厚度,增加支架的弹性,使悬浮板垂直的位移量增加,进而提升微型流体传输装置的效率。

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