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专利概况
专利名称 覆铜层叠板
申请号 CN201910640432.1 申请日
公开(公告)号 CN110740579A 公开(公告)日
申请(专利权)人 住友金属矿山株式会社 发明人 渡边智治; 小川茂树; 下地匠; 西山芳英
专利来源 国家知识产权局 转化方式
摘要

本发明提供一种能够抑制化学研磨后的针孔的产生的覆铜层叠板。该覆铜层叠板(1)包括:基膜(11)、形成在基膜(11)的表面的金属层(12)、以及形成在金属层(12)的表面且作为杂质含有氯的镀铜被膜(20)。镀铜被膜(20)的厚度方向的氯浓度分布包含复数个山形的局部分布。优选局部分布的峰处的氯浓度为2×1019原子/cm3以上。优选局部分布的半峰全宽比与相邻的局部分布的峰间隔的一半窄。

参与列表

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