专利名称 | 一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫外探测器 | ||
申请号 | CN201920930316.9 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN210092100U | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 华南理工大学 | 发明人 | 李国强; 郑昱林; 王文樑; 粱敬晗 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本实用新型公开了一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫外探测器。所述紫外探测器包括由下至上的衬底、石墨烯模板层、AlGaN纳米柱、与AlGaN纳米柱间形成肖特基接触的Ni第一金属层和Au第二金属层,还包括填充AlGaN纳米柱中的Si3N4绝缘层,且Ni第一金属层和Au第二金属层作为电极材料组成叉指电极。本实用新型的紫外探测器对UVA‑C紫外光具有十分高的灵敏探测,可应用于紫外导弹制导、明火探测和太阳照度检测等领域,经济效益可观。 |
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